文章目录

1 概述

2 光学元件表面的缺陷类型及其危害

3 主要检测方法

3.1 利用光电测量技术的光学元件表面检测方法

3.2 利用衍射图像技术的光学元件表面缺陷检测方法

4 仿真实验结果

5 结语

文章摘要:随着先进光学仪器、精密测量技术的迅速发展,通常利用接触式、非接触式检测方案,对某些光学元件表面存在的缺陷问题进行人工或自动识别。提出了基于光电测量技术的光场复振幅识别、表面轮廓特征识别方案,结合Harris算子角点识别方法,对光学元件涉及到的尺寸、纹理、缺陷位置、缺陷梯度等数据参量,展开全方位的表面检测与识别,自动缺陷识别的误识率小于1%、漏识率小于2%,在识别效率、识别精度方面具有较大优势。

文章关键词:

论文DOI:10.16184/j.cnki.comprg.2021.12.045

论文分类号:TN209;TP391.41

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