文章目录

引言

1 光电微系统应用

1.1 信息传输

1.2 目标探测

1.3 光子处理

2 光电微系统关键技术

2.1 光电微系统器件

    2.1.1 集成激光器

    2.1.2 调制器

    2.1.3 其他器件

2.2 光电微系统制备和集成

    2.2.1 光电微系统平台

    2.2.2 光电微系统集成技术

3 光电微系统的发展规划

4 结束语

文章摘要:光电微系统具有探测精度高、处理速度快、传输通量大等优势,在信息传输、目标探测和光子处理等方面具有广泛应用。本文综合国内外光电微系统产品和技术现状,重点从信息传输、目标探测和光子处理三个方面展开叙述,讨论了激光器、调制器、波导等光电器件,并对三维集成技术和光电微系统平台进行简介。简述了国内外有关光电微系统的发展计划,提出了国内发展独立的微系统平台和相关技术的迫切性和必要性。

文章关键词:

论文分类号:TN20

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